उच्च निर्वात वातावरण में फोटो सेंसर की गलत पहचान की समस्या का समाधान किया गया।
सेमीकंडक्टर उद्योग
एक ऐसी कंपनी जो सेमीकंडक्टर निर्माण उपकरण बनाती है और फोटोवोल्टिक पैनलों के लिए सेमीकंडक्टर बनाने हेतु वैक्यूम डिपोजिशन डिवाइस डिजाइन करती है।
सबस्ट्रेट सेंसिंग पार्ट्स डिजाइन विभाग के एक प्रतिनिधि ने हमसे निर्वात वातावरण के तहत ग्लास सबस्ट्रेट्स की "स्थिति निर्धारण" के बारे में पूछताछ की।
टेबल
ग्राहक की समस्याएं
वैक्यूम चैंबर के भीतर कांच के सब्सट्रेट की उपस्थिति का पता लगाने के लिए "फोटोइलेक्ट्रिक सेंसर" का उपयोग किया गया है, हालांकि, वाष्पीकरण के दौरान व्यू पोर्ट में धुंध जमने के कारण कई बार गलत पहचान होने की समस्या आई।
इसके अलावा, एक और समस्या थी; व्यू पोर्ट को बनाने में काफी खर्च आता है।
ग्राहक ने प्रमुख सेंसर निर्माताओं से परामर्श किया और एक उच्च-प्रदर्शन वाले फोटो सेंसर का उपयोग करके देखा, हालांकि, इसके उपयोग से गलत पहचान को रोका नहीं जा सकता है।
मोल्ड टेक्नोलॉजीज के लिए "वैक्यूम प्रदर्शनी" में हमारे बूथ पर आने से ग्राहक को हमारे स्विच के बारे में जानने और हमसे संपर्क करने की प्रेरणा मिली।
इन मुद्दों का मुख्य केंद्र बिंदु
निर्वात वातावरण में कांच के सब्सट्रेट को स्थापित करना।
वाष्पीकरण के दौरान व्यू पोर्ट में धुंध जम जाने से फोटो सेंसर में गलत पहचान होती है।
व्यू पोर्ट को महंगी मशीनिंग प्रक्रिया से बनाया गया है।
मेट्रोल के सुझाव
परंपरागत "फोटोइलेक्ट्रिक सेंसर" उत्सर्जित प्रकाश द्वारा परावर्तन के माध्यम से वर्कपीस का पता लगाता है, इसलिए यह कोहरे, पानी की बूंदों और विसरित परावर्तन आदि जैसी बाहरी स्थितियों के अधीन होता है, जिससे लगातार गलत पहचान होती है।
अधिकांश इंजीनियर यह मानते हैं कि "निर्वात वातावरण में सेंसर बेकार होता है"।
मेट्रोल का "हाई वैक्यूम क्लास-कम्पैटिबल स्विच" एक मैकेनिकल प्रेसिजन पोजिशनिंग स्विच है जिसे बिना किसी इलेक्ट्रिक सबस्ट्रेट के केवल कम गैस उत्सर्जन वाले संगत भागों से निर्मित किया जाता है।
यह स्विच 10^-5 Pa तक के उच्च निर्वात वर्ग के साथ संगत है और उच्च निर्वात वातावरण में भी कांच के सब्सट्रेट का सुरक्षित रूप से पता लगाने में सक्षम है।
हम स्विच के संपर्क बल को 0.5 एन या उससे कम तक और टिप की सामग्री को विशेष रेजिन से अनुकूलित करते हैं, ताकि संवेदनशील कांच की सतह पर खरोंच लगने का कोई खतरा न हो।
सुधार
10^-5 Pa के उच्च निर्वात वातावरण के अंतर्गत वेफर की स्थिति निर्धारण की प्रक्रिया।
वेफर को सीधे संपर्क करने से गलत पहचान नहीं होती है।
व्यू पोर्ट की आवश्यकता समाप्त हो जाती है, और मशीनिंग लागत में काफी कमी आती है।
मेट्रोल प्रतिनिधि की टिप्पणी
क्योंकि "फोटोइलेक्ट्रिक सेंसर" और "फाइबर सेंसर" जैसे फोटो सेंसर के सिग्नल बिंदु अदृश्य होते हैं, इसलिए इंस्टॉलेशन को समायोजित करने में दो दिन से अधिक का समय लग गया है।
मेट्रोल के संपर्क-प्रकार के "प्रेसिजन पोजिशनिंग स्विच" के सिग्नल बिंदु दृश्यमान होने के कारण, डिजाइन करते समय सीएडी पर स्थापना स्थितियों को निर्दिष्ट किया जा सकता है।
सेमीकंडक्टर उद्योग में, हमारे पास वैक्यूम उपकरणों जैसे "स्पटरिंग डिवाइस", "ऑर्गेनिक ईएल इवेपोरेटिंग डिवाइस", "एचर" और "वेफर कैरियर" आदि के भीतर पोजिशनिंग के बारे में भी कई पूर्व अनुभव हैं।
यदि आपको निर्वात वातावरण में उपस्थिति का पता लगाने या उसकी स्थिति निर्धारित करने में कोई परेशानी हो, तो कृपया मेट्रोल से संपर्क करने में संकोच न करें।
हम मूल्यांकन के लिए अपने नमूनों को तैयार करने संबंधी आपकी प्रतिक्रिया की प्रतीक्षा कर रहे हैं।
इस एप्लिकेशन में उपयोग किए गए उत्पादों के बारे में अधिक जानकारी के लिए
उच्च-निर्वात प्रतिरोध स्विच
निर्वात वातावरण में फोटो सेंसर की गलत पहचान की समस्या का समाधान हो गया है!
