कम गैस उत्सर्जन वाले उच्च निर्वात वातावरण में स्थान-बचत स्थिति कैसे प्राप्त करें

निर्वात वातावरण में क्या समस्याएं उत्पन्न होती हैं?

गैस उत्सर्जन के कारण कई समस्याएं उत्पन्न होती हैं।

निर्वात वातावरण में विनिर्माण प्रक्रियाओं के साथ "गैस उत्सर्जन" सबसे महत्वपूर्ण मुद्दों में से एक है।
यह समस्या विभिन्न घटकों जैसे जिग्स, पुर्जों, चिपकने वाले पदार्थों और तारों के साथ तब उत्पन्न होती है जब इनका उपयोग निर्वात वातावरण में किया जाता है।

सामग्री से निकलने वाली गैस वैक्यूम चैम्बर की भीतरी दीवार और वर्कपीस पर चिपक जाती है, जिससे निम्नलिखित समस्याएं उत्पन्न होती हैं:

• दोषपूर्ण उत्पादों के कारण उत्पादन में कमी
• गुणवत्ता संबंधी समस्याएं
• निरीक्षण लागत में वृद्धि

इसलिए, निर्वात वातावरण में उपयोग के लिए "कम गैस उत्सर्जन" वाले जिग्स, पुर्जों और सामग्रियों का चयन और उपयोग करना महत्वपूर्ण है।

छोटे स्थान के लिए एक डिज़ाइन की आवश्यकता है

क्योंकि सेमीकंडक्टर निर्माण उपकरण और वैक्यूम चैंबर के अंदर बहुत कम जगह होती है, इसलिए डिजाइनर को सीमित स्थान में ही ड्राइंग बनानी होती है और कम गैस उत्सर्जित करने वाली सामग्री का उपयोग करना होता है।

इसलिए, "सीमित स्थान वाले निर्वात वातावरण में गैस उत्सर्जन उत्पन्न किए बिना उपकरण कैसे डिजाइन किए जाएं?" उच्च निर्वात वातावरण में विनिर्माण के क्षेत्र में एक प्रमुख मुद्दा हो सकता है।

हाई-वैक्यूम-रेसिस्टेंस स्विच की विशेषताएं क्या हैं?

 

जीएन सीरीज हाई-वैक्यूम-रेसिस्टेंस स्विच की 3 विशेषताओं का परिचय:

यह उत्पाद एक "टच स्विच" है जो किसी जिग या वर्कपीस के संपर्क में आने पर चालू/बंद सिग्नल आउटपुट करता है।
इनका उपयोग आमतौर पर सभी प्रकार के उपकरणों और रोबोटों के साथ होम पोजीशन की स्थिति निर्धारित करने और उसका पता लगाने के लिए किया जाता है।

वैक्यूम संगत जीएन सीरीज यूनिट्स की निम्नलिखित तीन विशेषताएं हैं।

विशेषता 1: स्विच के बॉडी के लिए कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्री का उपयोग किया गया है।
विशेषता 2: अत्यंत छोटा आकार होने के कारण जगह की बचत होती है
विशेषता 3: संदूषण से बचाव के लिए असेंबली क्लीनरूम में की जाती है। कैटलॉग

विशेषता 1: स्विच के बॉडी के लिए कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्री का उपयोग किया गया है।

उच्च-निर्वात-प्रतिरोध स्विच
ये ऐसी सामग्रियों से बने होते हैं जो गैस उत्सर्जन की घटना को कम से कम करती हैं, जो संदूषण का एक सामान्य कारण है, और उच्च निर्वात वर्ग 10-5 Pa वातावरण में भी लगभग कोई गैस उत्पन्न नहीं होती है।

स्विच बॉडी के निर्माण में प्रयुक्त सामग्री निम्नलिखित हैं।

[शरीर की सामग्री]
・एसयूएस304
・एसयूएस420
・बीएसबीएम



[रेज़िन के पुर्जे]
वैक्यूम-संगत स्विच के अंदर मौजूद रेज़िन भागों के लिए "पीक" शब्द का प्रयोग किया जाता है।
यह कम गैस उत्सर्जन वाला पदार्थ है जिसमें वाष्पशील कार्बनिक यौगिकों और धातु आयनों की मात्रा बहुत कम होती है, जिससे संदूषण की चिंता किए बिना निर्वात वातावरण में इसका उपयोग संभव हो पाता है।

[बॉडी केबल]
"पीटीएफई" सामग्री का उपयोग करके।

[चिपकने वाला पदार्थ: टॉर सील]
कम गैस उत्सर्जन वाले चिपकने वाले पदार्थ "टॉर सील" का उपयोग करना।

[अन्य घटक पदार्थ]
हाई-वैक्यूम-रेसिस्टेंस स्विच के लिए किसी भी प्रकार की ग्रीस, लुब्रिकेंट या तेल का उपयोग नहीं किया जाता है ।



सूची

विशेषता 2: अत्यंत छोटा आकार होने के कारण जगह की बचत होती है

जीएन सीरीज के हाई-वैक्यूम-रेजिस्टेंस स्विच अल्ट्रा-कॉम्पैक्ट पोजिशनिंग स्विच हैं जिन्हें आसानी से तंग जगहों में स्थापित किया जा सकता है।

विशेषता 3: उच्च निर्वात वर्ग 10-5 Pa वातावरण में भी कम गैस उत्सर्जन

स्विच का बाहरी भाग कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्री से बना है जिसका उपयोग उच्च निर्वात वातावरण (10-1 Pa से 10-5 Pa) में किया जा सकता है।
उद्योग में उपयोग की जाने वाली कुछ सामान्य उच्च निर्वात प्रक्रियाओं में वैक्यूम डिपोजिशन, स्पटरिंग और पतली फिल्म प्रसंस्करण उपकरण शामिल हैं।

※सामान्य वातावरण ~ उच्च निर्वात वातावरण: HV: उच्च निर्वात (10⁻¹Pa~10⁻⁵Pa)

विशेषता 4: संदूषण से बचाव के लिए क्लीनरूम में असेंबल किया गया।

संदूषण से बचाव के लिए उच्च निर्वात प्रतिरोध स्विचों को निम्नलिखित परिस्थितियों में असेंबल किया जाता है।
• संयोजन के लिए उपयोग किए जाने वाले पुर्जों को उपयोग से पहले साफ किया जाता है
असेंबली का कार्य क्लीनरूम में किया जाता है।
• कैटलॉग को असेंबल करते समय लेटेक्स के दस्ताने (पाउडर रहित) का उपयोग किया जाता है।

उच्च निर्वात प्रतिरोध स्विचों के प्रकारों में से चयन करना

निम्नलिखित पांच विशिष्टता विकल्प उपलब्ध हैं जिनमें से आप चयन कर सकते हैं।

・Contato आकार
केबल दिशा
· केबल लंबाई
・Operação मोड: सामान्यतः खुला (NO) या सामान्यतः बंद (NC)
・ व्यास/ स्ट्रोक की लंबाई





विनिर्देश 1: Contato आकार

जब संपर्क सतह को छुआ जाता है तो स्विच एक सिग्नल उत्पन्न करता है।

संपर्क के कोण के अनुसार संपर्क का आकार चुना जाना चाहिए।
हाई-वैक्यूम-रेजिस्टेंस स्विच के लिए निम्नलिखित दो प्रकार के संपर्क आकार उपलब्ध हैं।

(1) सीधा संपर्क
(2) कोणीय संपर्क


(1) जब संपर्क को सामने से छुआ जाता है: "सीधा संपर्क प्रकार" (पीटी श्रृंखला)
*सावधानी नोट
यदि संपर्क कोण पर हो तो सीधा संपर्क प्रकारों का उपयोग नहीं किया जा सकता है क्योंकि संपर्क बिंदु या आंतरिक भाग क्षतिग्रस्त हो सकते हैं।
कृपया हमेशा इस तरह से व्यवस्था करें कि संपर्क सीधी दिशा से ही हो।

(2) जब संपर्क को किसी कोण पर छुआ जाता है: “कोणीय संपर्क प्रकार” (बॉल संपर्क बीपी श्रृंखला)
• घुमावदार संपर्क सतह वाले वर्कपीस
• बड़े एलसीडी पैनल या सर्किट बोर्ड के ऐसे हिस्से जो मुड़े हुए हो सकते हैं
उपरोक्त मामलों में बॉल कॉन्टैक्ट वाला एंगल्ड कॉन्टैक्ट (बीपी सीरीज) स्विच चुनें।

बॉल कॉन्टैक्ट प्रकार के हाई-वैक्यूम-रेजिस्टेंस स्विच दो प्रकार के व्यास और स्ट्रोक लंबाई में आते हैं।
・टाइप एम5 स्ट्रोक की लंबाई: 0.8 मिमी
・टाइप एम16 स्ट्रोक की लंबाई: 2.9 मिमी

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विनिर्देश 2: केबल दिशा

निम्नलिखित 2 प्रकार के स्विच केबल दिशा विकल्पों में से चुनें।

(1) सीधा
(2) 90°(आर)

सीमित स्थान वाले वैक्यूम उपकरण या कक्ष में केबल को व्यवस्थित करने के तरीके के अनुसार दिशा का चयन करें।

विनिर्देश 3: केबल की लंबाई

हाई-वैक्यूम-रेसिस्टेंस स्विच के लिए मानक केबल की लंबाई 0.5 मीटर है ।

लंबाई का चयन निम्नलिखित तीन प्रकार के विकल्पों में से किया जा सकता है।

《केबल की लंबाई के विकल्प 》
・1 मीटर
・3 मीटर
・5 मीटर

विनिर्देश 4: Operação मोड

इसमें दो ऑपरेशन मोड हैं: सामान्य रूप से खुला और सामान्य रूप से बंद।

सामान्यतः खुले और सामान्यतः बंद मोड के बीच सिग्नल का ऑपरेटिंग पॉइंट अलग-अलग होता है।

・सामान्यतः खुला (NO):
जब स्विच किसी संपर्क सतह के संपर्क में आता है और 0.2 से 0.3 मिमी तक दब जाता है, तो एक सिग्नल आउटपुट होता है।
・सामान्यतः बंद (NC):
सिग्नल चालू होने से पहले तय की गई दूरी (प्री-ट्रैवल) 0 होती है। लक्ष्य से संपर्क होने पर सिग्नल आउटपुट होता है।

विशिष्टताओं का सारांश :

・Contato आकार
केबल दिशा
· केबल लंबाई
・Operação मोड: सामान्यतः खुला (NO) या सामान्यतः बंद (NC)
・ डायमीटर कैटलॉग

《 उच्च निर्वात प्रतिरोध स्विच जीएन श्रृंखला विनिर्देश टेबल 》

*1: कुल लंबाई = संपर्क बिंदु से लेकर बॉडी के अंत तक (कॉर्ड की लंबाई शामिल नहीं है)

*2: लंबाई की इकाई : मिमी

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न और याद रखने योग्य बातें

ऊष्मा प्रतिरोध तापमान (ऊपरी और निचली सीमाएँ)

हाई-वैक्यूम-रेसिस्टेंस स्विच की ताप प्रतिरोधकता की ऊपरी सीमा 120°C और निचली सीमा 0°C है।
गैस निकालने के लिए बेकिंग करते समय, इसे बिना किसी समस्या के लगभग 2 घंटे तक 120°C तक के तापमान पर इस्तेमाल किया जा सकता है।

Operação गति और चैटरिंग

10 मिमी/मिनट या उससे कम की धीमी परिचालन गति का उपयोग करने से बचें क्योंकि इससे कंपन का खतरा होता है।

Contato जीवन

इसका उपयोग 3 मिलियन ON⇔OFF ट्रांजिशन के लिए किया जा सकता है।

नट और स्क्रू को कसने के लिए आवश्यक टॉर्क

स्विच को स्थापित करते समय नट और स्क्रू को कसने का टॉर्क 1N/m होना चाहिए।

सफलता की कहानियाँ और अनुप्रयोग

 

इस अनुभाग में उद्योग, अनुप्रयोग और वर्कपीस के आधार पर हाई-वैक्यूम-रेसिस्टेंस स्विच की सफलता की कहानियों का परिचय दिया गया है।

उद्योग:

・ सेमीकंडक्टर
एलसीडी पैनल
・ ओएलईडी
・ एयरोस्पेस

केस स्टडी/अनुप्रयोग:

निर्वात वातावरण में निम्नलिखित स्थिति निर्धारण अनुप्रयोग सामान्य हैं।
・वर्कपीस के मूल का पता लगाना
・वर्कपीस की बैठने की व्यवस्था
・जिग की स्थिति निर्धारण

पहचान योग्य कार्यवस्तुएँ:

• सब्सट्रेट, कांच, धातु, प्लास्टिक

वास्तविक कार्यान्वयन के उदाहरण:

• वैक्यूम चैंबर के भीतर स्टेज की स्थिति निर्धारण
वैक्यूम डिपोजिशन उपकरणों के भीतर वर्कपीस की स्थिति निर्धारण
・ स्पटरिंग उपकरण
• पतली फिल्म निर्माण उपकरण के भीतर स्थिति निर्धारण
・ सेमीकंडक्टर वेफर पोजिशनिंग
・वैक्यूम के अनुकूल पोजिशनिंग स्टेज
・ सबस्ट्रेट होल्डर्स के साथ मास्क सीटिंग का सत्यापन कैटलॉग

उच्च निर्वात प्रतिरोध स्विचों के साथ सुधार का उदाहरण

उदाहरण 1: सेमीकंडक्टर XY टेबल पोजिशनिंग

समस्या बिंदु

• स्व-तापन के कारण XY अक्ष कुछ माइक्रोन तक खिसक जाता है।
• फोटो माइक्रो सेंसर सटीक रूप से मूल स्थान का पता लगाने में सक्षम नहीं हैं।

सुधार के बाद

• कॉन्टैक्ट प्रकार टच स्विच की मदद से टेबल की स्थिति का Precisão पता लगाना संभव है।

दूसरा उदाहरण: काँच सब्सट्रेट सीटिंग की पुष्टि

समस्या बिंदु

• विशेष वैक्यूम कनेक्टर 2,000 अमेरिकी डॉलर से अधिक महंगे होते हैं।
• व्यू पोर्ट लगाना आवश्यक है।

* अन्य निर्माताओं के "पारदर्शी वैक्यूम फाइबर सेंसर" या "विस्थापन सेंसर" प्रतिस्थापन उत्पादों के रूप में उपलब्ध हैं।
हालांकि, हाई-वैक्यूम-रेसिस्टेंस स्विच की तुलना में, जिसकी कीमत आमतौर पर लगभग 300 से 500 डॉलर होती है, फाइबर सेंसर की कीमत प्रति इकाई 2000 से 5000 डॉलर या उससे अधिक होती है, जिसमें एम्पलीफायर भी शामिल होता है।

सुधार के बाद:

• विशेष, महंगे वैक्यूम कनेक्टर की आवश्यकता नहीं है।
• व्यू पोर्ट की आवश्यकता न होने से लागत में बचत की जा सकती है।

दत्तक ग्रहण का उदाहरण 3: वाहक की उत्पत्ति का पता लगाना

समस्या बिंदु

• मैं नीचे और बगल की सतहों के साथ 2 बिंदुओं का उपयोग करके एक स्लाइडिंग कैरियर का मूल बिंदु ज्ञात करना चाहता हूं।

सुधार के बाद:

• जिग में बॉल कॉन्टैक्ट प्रकार टच स्विच लगाने से सीटिंग बॉटम सरफेस पोजिशनिंग सिस्टम को डिजाइन करना संभव हो सका।
• पार्श्व सतह के उच्च परिशुद्धता वाले मूल बिंदु का पता लगाने के लिए एक स्ट्रेट टच प्रकार स्विच का उपयोग किया गया था।

Contato और उत्पाद जानकारी

"Contato"
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यदि आप आवेदन, उपयोग के वातावरण और किस प्रकार के वर्कपीस का पता लगाया जाएगा, इसके बारे में विस्तृत जानकारी प्रदान कर सकते हैं, तो हम सर्वोत्तम सहायता प्रदान कर सकते हैं।
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उच्च निर्वात प्रतिरोध स्विच के बारे में अधिक जानकारी:

इसे डाउनलोड करने के लिए कृपया निम्नलिखित फॉर्म भरें। कैटलॉग

"उत्पादन स्थल"
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